В России создают редкое оборудование для производства микроэлектроники на замену китайскому.

12.09.2024 Минпромторг заказал разработку установки для отмывки и сушки специальных контейнеров для хранения кремниевых пластин. На его разработку выделено почти полмиллиарда. Сейчас такое оборудование закупается в Китае.Как выяснил CNews, Минпромторг заказал создание установки для отмывки и сушки SMIF-контейнеров для кремниевых пластин. На эти работы выделено 476,8 млн руб., следует из портала госзакупок.Контейнеры SMIF позволяют хранить и перемещать наборы полупроводниковых пластин между установками, сохраняя повышенную чистоту.Установка предназначена для групповой обработки SMIF-контейнеров и кассет для пластин диаметром 150 мм и 200 мм. Созданием ее займется Всероссийский научно-исследовательский институт экспериментальной физики. На работы отведено два с половиной года. «Важность этой установки состоит в том, что SMIF-контейнер в производственном цикле позволяет обеспечивать повышенный уровень чистоты при переносе пластин в производственном цикле, - рассказал CNews представитель Минпромторга. - Применение таких контейнеров значительно снижает привносимую дефектность и, как следствие, повышает выход годных. Из-за таких требований к чистоте требуется отдельная установка для отмывки контейнеров от загрязнений».