Основные компоненты литографической машины Oriental Materials прошли сертификацию SMIC.

08.08.2025 Линейный двигатель — ключевой компонент платформы перемещения литографической машины. Литографическая машина должна «вырезать» схемы на кремниевых пластинах с нанометровой точностью. Линейный двигатель непосредственно приводит в движение рабочий стол и столик с фотошаблоном, обеспечивая высокоскоростное и сверхточное линейное перемещение. Его характеристики определяют точность позиционирования и стабильность движения.С вступлением производства микросхем в нанометровую эру традиционный метод использования роторных двигателей в сочетании с передаточным механизмом уже не может удовлетворить требования к точности и скорости. Благодаря своим преимуществам — прямому приводу, отсутствию механических потерь, быстрому отклику и высокой точности — линейные двигатели стали единственным приемлемым выбором. Однако технология линейных двигателей для высокопроизводительных литографических машин имеет чрезвычайно высокий порог входа, а внутренний рынок Китая долгое время сильно зависел от импорта.Недавно ключевые компоненты, разработанные компанией Henan Oriental Materials, включая линейные двигатели, источники света, оптические волокна и магнитные крепления для литографических машин, официально прошли строгую сертификацию SMIC (Semiconductor Manufacturing International Corporation).Компания Oriental Materials, основанная в 2018 году, стремится стать комплексной платформой для поставок материалов и компонентов оборудования, используемых в производстве высокотехнологичных интегральных схем. Её деятельность охватывает три основных сегмента: основные полупроводниковые материалы, полупроводниковое оборудование и ключевые компоненты. Компания производит и продаёт такую продукцию, как мишени для распыления, реакционные камеры и другие полупроводниковые компоненты.Будучи признанным на национальном уровне китайским «маленьким гигантом», специализирующимся на передовых и инновационных технологиях, Oriental Materials в марте этого года успешно поставила свое высокотехнологичное полупроводниковое оборудование собственной разработки, отправив шесть 12-дюймовых машин по производству пластин ведущим игрокам отрасли.В частности, Oriental Materials также планирует инвестировать в строительство юго-западной штаб-квартиры для производства полупроводникового оборудования в Чунцине. Соглашение об этом проекте было подписано 28 июля, общий объем инвестиций составит 1,5 млрд юаней. Строительство будет осуществляться в два этапа: на первом этапе будет создана производственная база полупроводникового оборудования и передовой научно-исследовательский институт по разработке микросхем памяти; на втором этапе будет расширено производство и построена линия по производству радиочастотных (РЧ) микросхем. Начало строительства запланировано на 2025 год, запуск производства – на 2026 год. Годовой объем производства составит 200 млн юаней в первый год и 1,2 млрд юаней к 2029 году.