Разработчик российского литографа создаст суверенный электронный микроскоп на замену Hitachi.

06.08.2026 Зеленоградский нанотехнологический центр, создавший литограф на 350 нм, разработает отечественный сканирующий электронный микроскоп. Оборудование для контроля чипов должно полностью заместить поставки из Японии, которые заблокированы санкциями. Как выяснил CNews, исполнителем контракта на создание промышленно-ориентированного сканирующего электронного микроскопа для контроля чипов стал АО «Зеленоградский нанотехнологический центр» (ЗНТЦ). Контракт на ОКР шифр «Инспектор» был заключен 6 июля 2026 г. между Минпромторгом и АО «ЗНТЦ». Сумма его составила 2,37 млрд руб. Цена снизилась всего на 500 тыс. руб. (менее 0,1%), следует из портала госзакупок. По итогам конкурса была подана только одна заявка — от ЗНТЦ. Конкурс признан несостоявшимся, контракт заключен с единственным поставщиком. Работы должны быть завершены до 30 июня 2030 г. Что надо разработать «ЗНТЦ» должен разработать промышленно-ориентированную установку сканирующего электронного измерительного микроскопа (CD-SEM) для контроля полупроводниковых пластин диаметром 100, 150 и 200 мм. Опытный образец изготавливается в исполнении для пластин 200 мм. Оборудование предназначено для неразрушающего контроля и измерения критических размеров элементов топологического рисунка на поверхности кремниевых пластин — ширины линий, диаметров контактных отверстий, расстояний между элементами периодических структур и шероховатости края линии. Функциональными аналогами разрабатываемого оборудования выступают японские установки Hitachi CD-SEM S-9380 и CG4000, поставки которых в Россию заблокированы санкциями. Прямых отечественных аналогов не существует. Критические комплектующие: электронная пушка, электронно-оптическая колонна, рабочая камера, вакуумные насосы, механизм загрузки-выгрузки пластин, центральный контроллер и программное обеспечение — должны быть отечественного производства. Применение импортных комплектующих допускается только по согласованию с заказчиком. Согласно техническому заданию, исполнитель также должен провести сравнение разрабатываемой установки с лучшими зарубежными аналогами. Наработка на отказ должна составлять не менее 1000 часов, срок службы — не менее 10 лет.